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檢測平整度用的是空氣劈尖干涉原理。
當光垂直入射時,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,當光波的光程差為波長的整數倍時,形成明條紋,為半波長的奇數倍時,形成暗條紋。而光程差取決於空氣層的厚度,空氣層厚度相同的位置明暗紋情況相同,若工件不平整,則條紋會凸起,向左向右都有可能,關鍵是看不平整的地方是凸起還是凹陷。
手壓玻璃板時,空氣層厚度改變,會使得條紋移動。例如左凸的原因是工件表面有凹陷(凸起),凹陷(凸起)處空氣層厚度和其左邊工件平面上的空氣厚度相同,所以條紋向左凸。
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