投射電鏡和掃描電鏡的異同

透射電鏡使用的訊號是forward scattering electrons，而掃描電鏡使用的是backward scattering electrons，前者分辨率較後者高,如2010能夠達到2、3nm左右，可得到高解析度影象，觀察位錯孿晶等，而後者一般用於觀察樣品表面形貌，由於掃描電鏡景深較大，所以影象立體感強，此外，投射電鏡很大一部分時間都花在樣品的製備上了，做到幾十個微米薄；而相比較掃描電鏡樣品製備較簡單。