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xps表徵全稱為:X射線光電子能譜,是X-ray photoelectron spectroscopy的縮寫。該技術主要利用X射線激發固體表面原子中的電子,通過測量電子發射的能量和角度等資訊分析表面化學成分、化學鍵狀態及其化學環境。
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