光柵位移感測器的工作原理

光柵尺位移感測器，簡稱光柵尺，是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵位移感測器的工作原理，是由一對光柵副中的主光柵和副光柵進行相對位移時，在光的干涉與衍射共同作用下產生黑白相間或明暗相間的規則條紋圖形，稱之為莫爾條紋。經過光電器件轉換使黑白相同的條紋轉換成正弦波變化的電訊號，再經過放大器放大，整形電路整形後，得到兩路相差為90°的正弦波或方波，送入光柵數顯表計數顯示。