mems即微機電系統（英語：MicroelectromechanicalSystems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的，在奈米範圍的類似的技術被稱為納機電系統。
微機電系統（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的製造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。MEMS技術採用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現有技術和材料，因此從製造技術本身來講，MEMS中基本的製造技術是成熟的。但MEMS更側重於超精密機械加工，並要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。
