法國奧德約太陽能發電站是世界上第一個實現太陽能發電的太陽能電站。雖然當時發電功率才64千瓦，但它為後來的太陽能電站的研究與設計奠定了基礎。
1982年美國建成了一座1000萬千瓦的塔式太陽熱中間試驗電站。美國計劃到2000年，太陽能發電站總裝機容量將達4000萬千瓦。2000年和2000年，生產的電量佔總能量的百分比將是7％和25％。由於光熱轉換器需要佔據較大的空間採光受熱，裝置偏大，以美國在加利福尼亞州計劃建一座1萬千瓦發電裝置為例，集光裝置達40萬平方米，200萬千瓦，則需佔地50平方千米。據估計，大型太陽能發電站效率僅為30％左右。
