1974年，科學家唐尼古奇最早使用奈米技術一詞描述精密機械加工。
1982年，科學家發明研究奈米的重要工具，即掃描隧道顯微鏡。
1990年7月，第一屆國際奈米科學技術會議的舉辦標誌著奈米科學技術的正式誕生。
1991年，碳奈米管被人類發現。
1993年，中國科學院北京真空物理實驗室操縱原子成功寫出中國二字，標誌著中國開始在國際奈米科技領域佔有一席之地。
1997年，美國科學家首次成功地使用單電子移動單電子。
1999年，巴西和美國科學家在進行奈米碳管實驗時發明了世界上最小的秤。奈米技術逐步走向市場。
2003年，奈米技術在基礎研究和應用研究方面都取得了突破性進展。
