流量單位中SCCM是什麼

SCCM是質流單位，表示標準毫升每分鐘，與一般常用的流量單位是不同的，常見的流量單位例如：1毫升每秒，代表單位時間流過的體積，而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數，這種單位通常用於化學反應中，如CVD等需要精確控制原子成分比之場合。