世界上能製造光刻機的國家有哪些

光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻，所以叫MaskAlignmentSystem。目前，世界上能製造光刻機的國家有荷蘭、日本、德國和中國。

目前能製造高階光刻機的廠家有：荷蘭ASML，日本Nikon，日本Canon，以及上海微電子裝備和德國的歐泰克。