國家02專項完成時間是2021年6月10日。6月10日，國家科技重大專項極大規模積體電路製造裝備及成套工藝專項實施管理辦公室組織綜合績效評價專家組對02重大專項積體電路靶材用超高純金屬材料產業化技術專案進行了綜合績效評價。02專項即《極大規模積體電路製造裝備及成套工藝》專案，因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位，在行業內被稱為02專項。02專項的重點是進行45-22奈米關鍵製造裝備攻關，開發32-22奈米互補金氧半導體（CMOS）工藝、90-65奈米特色工藝，開展22-14奈米前瞻性研究，形成65-45奈米裝備、材料、工藝配套能力及積體電路製造產業。
