高壓矽堆內部是由多隻高壓整流二極體（矽粒）串聯組成，檢測時，可用萬用表的R×10k檔測量其正、反向電阻值。正常的高壓矽堆，其正向電阻值大於200kΩ，反向電阻值為無窮大。若測得其正、反向均有一定電阻值，則說明該高壓矽堆已軟擊穿損壞。
當被測高壓矽堆按照正向接法連線時，萬用表讀數在30V以上時即為合格。當按反向接法連線時，萬用表指標應反向偏轉。若萬用表指標始終不動，則可能是高壓矽堆內部斷路，使電流不能通過萬用表，但也可能是高壓矽堆已擊穿。短路時交流電壓雖能直接加於萬用表，然而由於交流電頻率為50Hz，萬用表指標來不及擺動，所以量程開關撥在直流電壓檔的萬用表總是處於零位上。
因此，判斷高壓矽堆短路和斷路，只要把萬用表的量程開關撥至交流電壓250V或500V檔，若讀數為220V交流電壓值，則證明被測高壓矽堆短路，若此時讀數為零，則表明高壓矽堆內部已斷路。
