冷凍蝕刻技術是在冷凍斷裂技術的基礎上發展起來的更復雜的復型技術，若將冷凍斷裂的樣品的溫度稍微升高，讓樣品中的冰在真空中昇華，而在表面上浮雕出細胞膜的超微結構，當大量的乾冰昇華之後，對浮雕表面進行鉑一碳復型，並在腐蝕性溶液中除去生物材料，復型經重蒸水多次清洗後，撈在載網上作電鏡觀察。
冷凍蝕刻技術作用：
1、樣品通過冷凍，可使其微細結構接近於活體狀態；
2、樣品經冷凍斷裂蝕刻後，能夠觀察到不同劈裂面的微細結構，進而可研究細胞內的膜性結構及內含物結構；
3、冷凍蝕刻的樣品，經鉑、碳噴鍍而製備的復型膜，具有很強的立體感且能耐受電子束轟擊和長期儲存。
