SiO2+4HF=SiF4↑+2H2O，利用此反應，氫氟酸能雕刻玻璃。氫原子和氟原子間結合的能力相對較強，使得氫氟酸在水中不能完全解離。氫氟酸能夠溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃（二氧化矽），生成氣態的四氟化矽。反應方程式如下：
SiO2(s)+4HF(aq)→SiF4(g)+2H2O(l)，生成的SiF4可以繼續和過量的HF作用，生成氟矽酸：
SiF4(g)+2HF(aq)=H2[SiF6](aq)，氟矽酸是一種二元強酸。正因如此，它必須儲存在塑料（理論上講，放在聚四氟乙烯做成的容器中會更好）、蠟質制或鉛製的容器中。
