1、機床的原始製造誤差：指由組成機床各部件工作表面的幾何形狀、表面質量、相互之間的位置誤差所引起的機床運動誤差，是數控機床幾何誤差產生的主要原因。
2、機床的控制系統誤差：包括機床軸系的伺服誤差輪廓跟隨誤差，數控插補演算法誤差。
3、 熱變形誤差：由於機床的內部熱源和環境熱擾動導致機床的結構熱變形而產生的誤差。
4、切削負荷造成工藝系統變形所導致的誤差：包括機床、刀具、工件和夾具變形所導致的誤差。這種誤差又稱為“讓刀”，它造成加工零件的形狀畸變，尤其當加工薄壁工件或使用細長刀具時，這一誤差更為嚴重。
5、機床的振動誤差：在切削加工時，數控機床由於工藝的柔性和工序的多變，其執行狀態有更大的可能性落入不穩定區域，從而激起強烈的顫振。導致加工工件的表面質量惡化和幾何形狀誤差。
