平行度和平面度定義是什麼

一、定義：

平行度指兩平面或者兩直線平行的程度，指一平面或邊相對於另一直線或邊平行的誤差最大允許值。平面度是指基片具有的巨集觀凹凸高度相對理想平面的偏差。

二、平面度誤差的評定方法有三遠點法、對角線法、最小二乘法、最小區域法四種。

三、平行度評價直線之間、平面之間或直線與平面之間的平行狀態。其中一個直線或平面是評價基準，而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運動軌跡，平面可以是被測樣品的平面部分或運動軌跡形成的平面。