精密儀器有：經緯儀、圓度儀、輪廓儀、氣壓計、真空計等。
1、經緯儀
經緯儀是一種根據測角原理設計的測量水平角和豎直角的測量儀器，分為光學經緯儀和電子經緯儀兩種，最常用的是電子經緯儀。
2、圓度儀
圓度儀（Roundnessmeasuringinstrument）是一種利用迴轉軸法測量工件圓度誤差的測量工具。
3、輪廓儀
輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車製造和鐵路行業的應用十分廣泛。
4、氣壓計
氣壓計是根據托裡拆利(EvangelistaTorricelli)的實驗原理而製成，用以測量大氣壓強的儀器。
5、真空計
真空計（VacuumGauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。
