1、掃描電子顯微鏡通過用聚焦電子束掃描樣品的表面來產生樣品表面的影象。
2、電子與樣品中的原子相互作用，產生包含關於樣品的表面測繪學形貌和組成的資訊的各種訊號。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，並且光束的位置與檢測到的訊號組合以產生影象。
3、掃描電子顯微鏡可以實現分辨率優於1奈米。樣品可以在高真空，低真空，溼條件（用環境掃描電子顯微鏡）以及寬範圍的低溫或高溫下觀察到。
4、最常見的掃描電子顯微鏡模式是檢測由電子束激發的原子發射的二次電子。可以檢測的二次電子的數量，取決於樣品測繪學形貌，以及取決於其他因素。
5、通過掃描樣品並使用特殊檢測器收集被髮射的二次電子，建立了顯示錶面的形貌的影象。它還可能產生樣品表面的高解析度影象，且影象呈三維，鑑定樣品的表面結構。
