微電子科學與工程

微電子科學與工程是物理學、電子學、材料科學、電腦科學、積體電路設計製造學等多個學科和超淨、超純、超精細加工技術基礎上發展起來的一門新興學科。微電子學是21世紀電子科學技術與資訊科學技術的先導和基礎，是發展現代高新技術和國民經濟現代化的重要基礎。主要研究半導體器件物理、功能電子材料、固體電子器件，超大規模積體電路（ULSI）的設計與製造技術、微機械電子系統以及計算機輔助設計製造技術等。