特氣都包括哪些氣體

氦、氖、氬、氪、氙、氡等。電子特氣廣泛應用於半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用於薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。

由於半導體和微電子技術向更高效能、更高整合度發展，科技對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的淨化愈加關鍵和重要。