微電子：隨著積體電路，尤其是超大型規模積體電路而發展起來的一門新的技術。其發展的理論基礎是19世紀末到20世紀30年代期間建立起來的現代物理學。包括系統電路設計、器件物理、工藝技術、材料製備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術，微電子技術是微電子學中的各項工藝技術的總和。
積體電路：一種微型電子器件或部件。採用一定的工藝，把一個電路中所需的電晶體、電阻、電容和電感等元件及佈線互連一起，製作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上，然後封裝在一個管殼內，成為具有所需電路功能的微型結構；其中所有元件在結構上已組成一個整體，使電子元件向著微小型化、低功耗、智慧化和高可靠性方面邁進了一大步。
