1、在表面清洗處理中的應用。需要提高成品率的半導體器件、液晶錶示元件、光學制品等製造中，紫外線和臭氧並用的乾式光表面處理技術已成不可缺少的技術手段；
2、在表面改性處理中的應用。改性的基本的反應就是紫外線引起的氧化反應。紫外線照射固體表面後，表面的汙染物被氧化，而後被分解成二氧化碳和水等易揮發性物質，最終揮發消失。並且表面形成有利表面接著的親水性原子團，被改性的表面接著性得到飛躍性地提高；
3、促進植物生長，誘殺蚊蟲。細菌中的脫氧核糖核酸、核糖核酸和核蛋白的吸收紫外線的最強峰在254至257奈米。細菌吸收紫外線後，引起DNA鏈斷裂，造成核酸和蛋白的交聯破裂，殺滅核酸的生物活性，致細菌死亡。
