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晶圓為什麼是圓的
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之所以晶圓都做成
圓形
,主要的是考慮單位
面積
利用率和生產問題.。
矽錠被"拉"出來的時候就一定是圓的。幾乎不可能直接獲得方的矽錠,除非將圓的矽錠切削成方的,但這樣無異於浪費。正方形浪費的使用面積比率是比圓型高的。很多晶圓生產裝置的工藝原理必然要求選擇圓型晶圓,圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓製作工藝必然的要求,可以想象一下,在圓型晶圓表面可以通過旋轉塗布法事實上是目前均勻塗布光刻膠的唯一方法,獲得很均勻一致的光刻膠塗層。
標籤:
晶圓
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