光刻機是怎麼運輸的

1、氣墊運輸，光刻機運輸中需要保證全程加氣墊，避免因為震動而使內部遭到破壞。

2、真空木箱打包，因為光刻機運輸要保持全程恆溫恆壓，所以要使用真空木箱打包技術。

3、恆溫氣墊車運輸，光刻機運輸過程中，溫度要保持在26度，溼度要保持在40度，因此要用特種運輸車輛來運輸。