1、戰國時期初步形成。新興地主階級從加強專政和保護封建經濟發展的需要，初步確立了君主集權的政治體制。
2、秦朝正式建立。秦始皇統一中國後，把專制主義的決策方式和中央集權的政治制度有機地結合在一起，正式建立了專制主義中央集權的政治制度。
3、西漢鞏固。漢武帝又實行“罷黜百家、獨尊儒術”的文化政策，找到了封建專制主義中央集權政治制度所需要的理論基礎。從此封建專制主義政治制度基本定型並得以鞏固。
4、隋唐完善。實行三省六部制，克服了君權與相權的矛盾；實行科舉制，提高了行政效率，擴大了統治基礎，使專制主義中央集權制度進一步完善。
5、北宋加強。北宋初年，大力加強中央集權．解決了藩鎮割據和武將爭權的問題，中央集權制度進一步加強。
6、元朝新發展。加強了中央集權。
7、明朝空前強化。
8、清朝達到頂峰。清朝沿用明制，增設軍機處，大興文字獄，專制主義中央集權制度達到了頂峰。
