去離子水（deionizedwater）是指除去了呈離子形式雜質後的純水。國際標準化組織ISO/TC147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指採用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要採用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以汙染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放後也容易引起細菌的繁殖。在半導體行業中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。純水是可以直接飲用的，所以，喝一口去離子水也不會有啥問題。
